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超纯特种气体材料

高纯三氯化硼

发布时间:2014-09-17              发布者:admin              点击:
  • 三氯化硼.jpg用作硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。
  • 用于光导纤维、药品和耐热涂料的制造。
  • 还可用作铝的气相刻蚀剂。
  • 制造IMDRAM需用三氯化硼,可提高集成电路产率。
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